高精度扫查器及控制装置，采用X,Y,Z三轴扫查器

X：线性马达驱动系统，行程：300mm；分辨率：1μm；采样：2μm＊1-1.0mm；更大移动速度.：1000mm/sec＊2

Y：高精度滚珠丝杆脉冲系统，行程：350mm；分辨率：1μm；采样：2μm＊1-1.0mm

Z：高精度滚珠丝杆脉冲系统，行程：50mm；分辨率：1μm；采样：2μm＊1-1.0mm

*1: X/Y=0.2μm/0.5μm ；

*2：扫描速度取决于振动，PRF和图像精度；

*3: 高度方向具有距离修补功能。

更大采集点：300，000，000 点

扫查器尺寸重量：尺寸：1000×800×570 mm；重量：约120 kg

扫查器软件设置特点：操作简单，由鼠标即可完成所有设置。通过鼠标移动到任意想要取点位置，点击或

点击拖动鼠标完成扫描区域设置。

典型检测：陶瓷部件表面裂纹检出；印刷电路板粘结部检测；陶瓷基盘检测